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量測原理:非接觸式激光測厚儀由專用激光器產(chǎn)生線型光束,以一定的傾角投射到待測量目標(biāo)上,由于待測量目標(biāo)與周圍基板存在高度差,此時觀測到的目標(biāo)和基板上的激光束相應(yīng)出現(xiàn)斷續(xù)落差.根據(jù)三角函數(shù)關(guān)系可以用觀察到的落差,計算出待測目標(biāo)與周圍基板存在高度差,從而實現(xiàn)非接觸式的快速測量.

量測軟件:視頻觀察,圖象保存,厚度測量,數(shù)據(jù)記錄,背景光,激光亮度控制,面積(方形、不規(guī)則多邊形、圓形)/體積/間距(X軸、Y軸)/夾角測量,可記憶24條生產(chǎn)線/任意數(shù)量產(chǎn)品.

S.P.C軟件:根據(jù)指定的產(chǎn)品、生產(chǎn)線和日期范圍進行數(shù)據(jù)查詢、修改、刪除、最大值、最小值、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、不良數(shù)、不良率、偏度、峰度、Ca、Cp、Cpk,并可繪制、預(yù)覽、打印X-BAR管制圖和R管制圖（其中的管制參數(shù)可自行設(shè)定）.